真空泵清洗后只需將轉子裝回泵體內即可，并在四周的水循環回路面積的建筑物聯接，選擇真空泵時，需求曉得氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵，假定氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應該思索在泵的進氣口管路上設備輔佐設備，如冷凝器、除塵器等。

用蠟燭或打火機在可疑點臨近逐漸查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點，內漏則要從不同真空工作區域分區排查，在真空體系抵達壓力值后，分別啟動卷繞和蒸騰體系，觀察真空計的讀數在短暫降落后有無爬高，能夠初步判別內漏點方向。

內漏多發作在有水冷卻點的設備上，在查外漏沒有發現疑點，可是卻有以下現象：機械泵的抽速顯著偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件顯著銹蝕等，具有以上條件根本能夠推斷內漏，先將腔體整理潔凈，再通冷卻水，認真查看通水管路有無濕潤點，濕潤處就是漏點。