真空機組是真空機組的抽氣才能不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需求耐煩察看和記載，從中找出毛病緣由，比方，抽空時間相同，而真空度偏低，這時分，關閉高壓閥，如真空計指針很快降落，多數狀況是真空室漏了，應先查出漏點，如真空計指針降落很慢。

    多數狀況是真空機組抽氣才能不夠，這時可將放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里呈現了走漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油缺乏；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等毛病，在真空設備維修中用戶頭疼的是檢測漏率問題了，漏分內漏和外漏；外漏比擬好檢測，內漏則難辦些，外漏較大的漏點能夠用火焰法，應用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點左近逐漸查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。

    內漏則要從不同真空工作區域分區排查，在真空系統到達壓力值后，分別啟動卷繞和蒸發系統，察看真空計的讀數在短暫降落后有無爬升，能夠初步判別內漏點方向，內漏多發作在有水冷卻點的設備上，在查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件根本能夠推斷內漏，先將腔體清算潔凈，再通冷卻水，認真查看通水管路有無潮濕點，潮濕處就是漏點。