真空機組真空蒸餾、真空燕發、真空濃縮、真空結晶、真空干澡、真空過濾及混凝土的真空作業等方面抽除氣體，往復式真空泵關于抽除腐蝕性的氣體或含有孩粒狀塵埃的氣休是不適用的，被抽氣休中假設含有塵埃，在泵的進口處加裝過濾器。

運用氣流能使火焰違犯的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點左近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點，內漏則要從不同真空作業區域分區排查，在真空體系抵達必定壓力值后，分別發起卷繞和蒸騰體系，調查真空計的讀數在時間短降落后有無爬高。

往復真空泵由于選用自光滑資料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油光滑；在氣缸與機體之間加設隔油腔（其長度大于一個行程長度），阻撓機體內光滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽體系，無油往復真空泵有立式和臥式兩種構造，無油往復真空泵由于選用自光滑資料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油光滑。